[NI技术]万世扬公司使用 CompactRIO 和LabVIEW制 造半导体拿放机
新一代半导体拿放机 由LabVIEW、 cRIO-9068、通
过 EtherCAT连 接的9个 Kollmorgen AKD无刷伺
服驱 动，以及视觉和运动 组件组成。 "利用 LabVIEW NI SoftMotion， cRIO-9068 控制器与 Kollmorgen AKD电机驱动实现 了直接集成，帮助我 们简化并迅速完成机 器控制系统的开发。 另外，在NI技术支 持人员的帮助下，我 们能够向专业咨询人 士征求意见，这大大 缩短了开发时间。" - 王國壽 Kennes Wang, 萬世揚 工業股份有限公司 - Master Machinery The Challenge: 半导体拿放机非常复 杂，视觉和运动精度 极其重要，另外完成 整个程序结构是一项 很大的挑战。 The Solution: NI CompactRIO 硬件、 Kollmorgen EtherCAT驱 动与LabVIEW 软件合为一体，不仅 提高了机器的吞吐 量，而且使控制架构 能够灵活地调整，以 满足不断变化的机器 设计要求。 Author (s):
王國壽 Kennes Wang - 萬世 揚工業股份有限公 司 - Master Machinery
20余年来，万世扬 公司 （Master Machinery） 一直是台湾二极管、 整流器和半导体设备 工业的领先制造商和 供应商。公司主要提 供二极管、整流器和 半导体所用自动化设 备。其产品包括测 试、印刷、包装机、 装载机、隧道式炉、 采摘机、SMT机、 晶粒分拣机等设备的 制造和维护。 在半导体生产的后期 阶段，拿放晶片的速 度和精度在整个制造 过程中起到关键作 用。在半导体机器的 设计和设置阶段，最 重要的因素是在机器 和软件结构之内选择 硬件组件。硬件组件 的质量影响机器的整 个运行，并且软件必 须具有强大的集成能 力，以应对机器的复 杂性。 根据这些要求，我们 需要一组产品来构建 大容量、高速、稳定 的复杂系统。在评估 若干选项之后，我们 与NI展开了合作， 因为NI LabVIEW系统 设计软件在业界以高 集成度而著称，适合 各种测量和控制系 统。另外，通过 LabVIEW Real-Time 模块，我们还可以在 高精度应用场合使用 NI CompactRIO 控制器。 首先，我们使用 NI cRIO- 9074控制器， Panasonic 电动机和 LabVIEW FPGA模块编写比 较复杂的运动程序。 在一年之内，我们就 完成了满足客户要求 的第一台拿放机。 凭借此经验，我们提 高了开发第二代拿放 机的效率。新机器使 用NI cRIO- 9068控制器配合 Kollmorgen AKD无刷伺服电机 驱动。控制器内置 LabVIEW NI SoftMotion 模块，实现我们此前 用FPGA编程完成 的低电平运动控制。 这样，我们能够更加 专注于应用程序，我 们只用了两个星期就 开发出新机器——与 此前的一年开发过程 相比，这是明显的提 高。 整个结构最具挑战性 的部分是在实时目标 与PC机之间传输实 时数据以及分析数 据。我们利用完善的 LabVIEW库并 通过与NI工程师们 合作研发完成了这一 任务。 在拿放机运行期间， 实现机器视觉与伺服 运动控制系统之间的 一体化也是非常重要 的。如果我们不在设 计期间考虑拿放过程 的精确同步，那么晶 片可能会在操作中损 坏。因此，控制器和 电机伺服的速度、精 度和分辨率均将影响 机器的效能。 cRIO-9068 和 Kollmorgen 驱动提供了半导体机 器所需要的快速响 应。与以前的机器相 比，响应时间明显加 快，同时没有以整个 系统的稳定性、坚固 性和实时处理速度为 代价。我们所用的平 台使我们能够真正使 用卓有成效的软件环 境来重新配置系统硬 件，这是cRIO- 9068等软件设计 控制器的主要组件之 一。
我们相信：通过使用 集成NI硬件和软件 平台，我们将能够继 续开发出更快、更好 的机器制造解决方 案，为业界客户提供 功能更加全面的半导 体机器。 Author Information:
王國 壽 Kennes Wang
萬世揚工業股份有限 公司 - Master
Machinery Taiwan
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新一代半导体拿放机 由LabVIEW、 cRIO- 9068、通过 EtherCAT连 接的9个 Kollmorgen AKD无刷伺服驱 动，以及视觉和运动 组件组成。
新一代机器的吸气喷 嘴轴数从4个增至 16个，加快了晶片 吸附速度。因此，视 觉和运动精度及响应 时间变得更加关键。
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LabVIEW图形 用户界面实现了与硬 件以及专业人机界面 的无缝集成，从而我 们的工程师们能够轻 松地完成晶片拿放设 置及操作。
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